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日本研发基于GaN的MEMS谐振器 可用于车载应用

据外媒报道,日本国立材料研究所国际材料纳米建筑学部门的独立科学家Liwen Sang(也是日本科学振兴机构PRESTO研究员)研发了一款MEMS谐振器,通过调节氮化镓(GaN)热引发的应力,即使在高。

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据外媒报道,日本国立材料研究所国际材料纳米建筑学部门的独立科学家Liwen Sang(也是日本科学振兴机构PRESTO研究员)研发了一款MEMS谐振器,通过调节氮化镓(GaN)热引发的应力,即使在高温下,也可稳定工作。

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